**净工作台检测 常规检测方法
**净工作台检测 常规检测方法
**净工作台常规检测方法
对于泄漏检测,所需仪器是:气溶胶光度计,分辨率为0.0001%,误差为±0.01%。测量方法
方法为:水平工作台距滤网30cm,垂直于工作台表面进行测量。如果工作台面积足够大
测量6个点,如果不够大,测量4个点。标准要求:下游检测气溶胶浓度≤上游的1%。
根据国际ISO14644-1 5级洁净度标准,仪器要求:扫描粉尘颗粒计数器读数中的跳跃颗粒。测量方法:在水平工作台上距滤网30cm处测量,在工作台表面垂直测量。如果工作台面积足够大,则测量6个点,如果不够大,则测量4个点。标准要求:①0.3μm颗粒≤10.2颗粒/L ②0.5μm颗粒≤3.5颗粒/L ③不允许≥0.5μm。
要求风速计的分辨率为0.01m/s,误差为±10%。方法及定位:网格:距侧面15cm,相距30cm,距滤光片15cm。标准要求:平均值0.30~0.60 m /s(JG/T 19-1999),较大相对误差≤±20%(每次测量值之差点和平均值)误差较大值/平均值 * **)
噪音测试(JG/T 19-1999)法,测试点应在台面*,距台面20cm,高110cm。其他测试点应在距离设备100cm,高度150cm,四边各测一次。所有测试点均满足≤62dB。
振动测试仪器要求:测振仪较小可靠读数:2. 5 µm . 方法和位置:将工作区域的中间用胶带/夹住/磁化/螺栓固定到工作台面上,测量鼓风机和灯何时打开和关闭。允许值:(总值-背景值)< 5µm
照度(JG/T 19-1999)测试方法:照度计测点分布在洁净工作台水平中心线上,三点均匀分布,取算术平均值为工作台照度,取值≥300Lx。
高效过滤器外观检查:①产品铝板框应无明显变形,安装面应平整。 ②密封条应均匀,无破损和明显变形,弹性好。 ③ 过滤器应平整、平整,不得碰撞、损坏。肉眼目测,透光率均匀,色泽好。
仪器各项功能测试:
1)电源:此键为开关机键,可开启或关闭确认仪器正常开机;
2) UV:此键为杀菌灯键,通过开或关确认仪器杀菌;
3) Light:此键为照明键,可开启或关闭确认仪器正常点亮;
4)Set:此键为设置键,通过调整参数确认仪器正常设置;
5)风扇:按此键开启或关闭风扇,确认仪器风扇正常;
6)向上键,可调节风速或其他参数确认按键是否正常;
7)向下键,可调节风速或其他参数确认按键是否正常;
8)按此键退出;
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